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国标标准:GB/T 34972《子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》

更新时间
2024-12-02 20:00:00
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详细介绍
国家标准编号国家标准名称实施日期
GB/T 34972-2017电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法2018/2/1

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。

标准全文查看/下载

 http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=3C2FCBE8A6500B21B18D626A97B2726C

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