本部分规定了用分光束显微镜测定铝及铝合金阳极氧化膜厚度的无损测定方法。本部分适用于膜厚大于10μm的一般工业用氧化膜，或膜厚不小于5μm的表面平滑的氧化膜。本部分不适用于深色氧化膜或表面粗糙的氧化膜。