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国标标准:GB/T 6624《硅抛光片表面质量目测检验方法》
标准号 Standard No.中文标准名称 Standard Title in Chinese英文标准名称 Standard Title in English状态 State备注 Remark
GB/T 6624-1995硅抛光片表面质量目测检验方法Standard method for measuring the surfacequality of polished silicon slices by visual inspection废止1995-12-01实施,代替GB 6624-1986,2010-06-01废止,被GB/T 6624-2009代替
GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection现行2010-06-01实施,代替GB/T 6624-1995

本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

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 http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=F0364B45636359411C53DCD5F4084EE6

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