国标标准:GB/T 42271《半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》
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标准编号 | 标准名称 | 实施日期 |
GB/T 42271-2022 | 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 | 2023/4/1 |
本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。本文件适用于测量电阻率范围为 1×105Ω?cm~1×1012Ω?cm的半绝缘碳化硅单晶片。
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http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=C55597318AF2D045B23DCD9343CAF83F
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