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国标标准：GB/T 42271《半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》
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标准编号标准名称实施日期
GB/T 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法2023/4/1

本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。本文件适用于测量电阻率范围为 1×105Ω?cm～1×1012Ω?cm的半绝缘碳化硅单晶片。

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 http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=C55597318AF2D045B23DCD9343CAF83F

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